어플라이드머티어리얼즈, 도시바에 예측 기반 스케줄 솔루션 소프트웨어 SmartSched® 공급

 반도체, 평판 디스플레이 및 태양전지 장비 글로벌 업체인 어플라이드머티어리얼즈는 일본의 낸드 플래시 메모리 및 스토리지(Storage) 제품 생산 업체인 도시바에 리소그래피(Lithography) 공정의 효율성을 향상시킬 수 있는 자사의 예측 기반 스케줄 솔루션 소프트웨어 SmartSched®를 공급한다고 5일 밝혔다.

회로 패턴을 웨이퍼에 인쇄하는 리소그래피 공정은 팹(Fab, 반도체 공장) 중 가장 복잡하고 비용이 많이 들며 웨이퍼가 밀집되는 병목현상이 빈번하게 발생하는 부분이다. 또한 장치의 복잡성이 심화됨에 따라 가동 비용 역시 지속적으로 증가할 것으로 예상되고 있어 효율성 측면에서의 해결책이 필요한 상황이었다.

어플라이드머티어리얼즈의 혁신적인 SmartSched®는 리소그래피 공정에서 웨이퍼의 움직임을 최적화하는 업계 최초의 상용 예측 기반 스케줄 솔루션이다. 어플라이드머티어리얼즈만의 독자적인 예측 알고리즘을 기반으로 구축된 SmartSched®는 장비가 가동되지 않는 시간(Idle Time)을 감소시키고 리소그래피 공정의 효율성을 극대화하여 새로운 장비의 구입을 지연시킴으로써, 결과적으로 수익성 향상을 실현한다.

SmartSched®는 어플라이드머티어리얼즈의 한국지사인 어플라이드머티어리얼즈코리아의 자동화 소프트웨어 사업부(APG: Automation Products Group)가 중심이 되어 전 세계 개발자들의 협업으로 완성되었다. 생산성 향상 소프트웨어 플랫폼(Advanced Productivity Software Platform)을 바탕으로 제작된 SmartSched®는 세계적으로 사용되고 있는 계획(Planning), 스케줄링(Scheduling), 디스패칭(Dispatching), 시뮬레이션(Simulation) 기술을 포함하고 있다.

이번에 어플라이드머티어리얼즈가 공급하는 SmartSched®는 일본 혼슈(本州) 미에현(三重縣) 요카이치(四日)에 소재한 도시바의 반도체 제조 시설 팹4(Fab4)에 적용된다. 팹4는 낸드 플래시 메모리 반도체용 300mm 웨이퍼 생산 라인이며, 도시바는 리소그래피 공정 시 생산량을 극대화하고 사이클 타임을 줄이기 위해 가장 빠르고 효율적인 SmartSched® 소프트웨어를 도입했다.

어플라이드머티어리얼즈 글로벌 서비스 부사장 겸 총괄 책임자인 찰리 파피스(Charlie Pappis)는 “어플라이드머티어리얼즈의 SmartSched®는 반도체 제조 공정 시 가장 큰 문제점 중의 하나로 생각되는 로트(Lot)의 움직임을 효과적으로 관리하여 장비의 가동률을 극대화하는 효율적인 솔루션이다.”라며, “선도적인 기술을 가진 도시바와 함께 리소그래피 공정에서의 수익성을 향상시킬 수 있게 된 점을 기쁘게 생각한다.” 라고 밝혔다.

어플라이드머티어리얼즈의 SmartSched®에 대한 보다 상세한 내용은 http://www.appliedmaterials.com/software-semi에서 확인할 수 있다. 해당 사이트는 본 소프트웨어에 대한 이해를 돕기 위해 다양한 정보를 제공하고 있다.